您的位置首页百科问答 cvd设备是什么 Simone 发布于 2025-08-02 19:32:25 520 阅读 cvd设备是什么的有关信息介绍如下:CVD化学气相沉积CVD(ChemicalVaporDeposition)原理CVD(ChemicalVaporDeposition,化学气相沉积),指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。